1. 准备工作：在开始清洗前，需对PI衬底进行表面检测，观察其是否有残留物或杂质。还需准备所需的清洗设备和试剂，如清洗液、刷子、无尘布等。
2. 清洗步骤：
- 初步清洗：将PI衬底放入专用清洗槽中，使用适量的清洗液进行初步清洗。清洗液应选择对PI材料无损害的溶剂。
- 超声波清洗：将初步清洗后的PI衬底放入超声波清洗机中，利用超声波的振动作用进一步去除附着在表面的杂质和颗粒。
- 刷洗：对于一些难以去除的污渍或油渍，可以使用刷子蘸取清洗液进行刷洗。注意刷洗力度要适中，避免对PI衬底造成损伤。
- 干燥处理：将清洗后的PI衬底用无尘布轻轻擦拭，并用热风吹干或自然晾干。
3. 注意事项：
- 避免使用强酸强碱等强腐蚀性试剂进行清洗，以免对PI衬底造成损害。
- 清洗过程中应保持轻柔的操作，避免划伤或损伤PI衬底表面。
- 清洗完毕后应尽快将PI衬底干燥，以防止水分对其造成不良影响。
- 对于不同工艺需求的PI衬底，可进行适当的后处理，如热处理或等离子处理等，以提高其表面性能和可靠性。
总的来说，对于聚酰亚胺（PI）衬底的清洗，应选择合适的清洗设备和试剂，并遵循一定的操作步骤和注意事项进行操作。只有这样才能确保PI衬底的清洁度和可靠性，从而满足其在微电子领域的应用需求。
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