pfa在半导体中是什么意思-专家解读


PFA是全氟烷的缩写,是一种含氟聚合物。在半导体行业中,PFA被广泛应用于湿法蚀刻和清洁。在湿法工艺中,首先清洗晶片,然后进行蚀刻,然后清洗蚀刻工艺中的光刻胶和残留物。在此过程中,PFA被制成各种工具,例如PFA花篮、PFA浸泡桶、PFA烧杯等,以确保蚀刻溶液和清洗溶液的高纯度,从而保证高产量。

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上海春毅新材料是一家以经营氟塑料原材料为主的公司。公司主要经营高温氟产品,包括聚四氟乙烯(铁氟龙)PTFE、聚四氟乙烯烷氧基树脂PFA、聚全氟乙丙烯FEP、乙烯-四氟乙烯共聚物ETFE、ECTFE、 聚偏氟乙烯PVDF、聚醚醚酮树脂PEEK、PPSU、PSU、PEI、PI等主要用于喷涂、锂电池、保护膜、衬里、注塑挤出模压级耐腐蚀耐高温耐磨件等。

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