聚偏氟乙烯〔PVDF〕因其优秀化学稳固性、高纯度、电气不导电性还有压电/热电特性，于半导体生产、相关设备中具有多方面用途。
1. 高纯度化学品输送、存储
PVDF 管道、阀门、储槽组件大量用于半导体工厂高纯度化学品〔如蚀刻液、清洗剂〕输送系统，其耐强酸、强碱、低渗透性可避免污染工艺流体。
2. 封装、不导电材料
于芯片封装中，PVDF 用作封装基板、电缆不导电层，提供机械保护、防潮、防尘并实现电气隔离，提升芯片可靠性。
3. 压电、传感器件
PVDF 压电性能使其可用于柔性压力传感器、声波探测器及振动传感器，将机械信号转换为电信号，适用于晶圆处理、精密控制环节。
4. 生产设备部件
于半导体设备内部，PVDF 用于反应腔衬里、晶圆夹持器、超纯水系统管道，其耐腐蚀、洁净特性保障制程稳固性。
5. 功能薄膜、能量收集
PVDF 基多孔膜、凝胶隔膜于二次锂电池中用于半导体设备后备电源；其压电薄膜还可用于纳米发电机，为低功耗器件收集能量。
6. 新兴用途
近年来 PVDF 被探索用于柔性天线、可穿戴、光探测器薄膜器件，为半导体技术向柔性、集成化发展提供支持。
综上，PVDF 于半导体行业用途覆盖从化学品处理、封装保护到传感器、能量收集多个关键环节，是支撑半导体工艺高纯度、高可靠性很大材料。
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